半导体薄膜沉积解决方案提供者「陛通半导体」

2023-11-23 16:42 文章来源: 作者:网络 阅读(

11月23日新闻,国产半导体薄膜沉积装备研发制造企业上海陛通半导体能源科技股份有限公司圆满 完成近5亿元新一轮融资。 本轮融资获得君桐资源、金浦创新、上海科创团体、浙江生长资产、赛富治理、三元资源等着名产业及投资机构的鼎力支持,力合资源、长江国弘等多家老股东追投。本轮融资后,陛通半导体将连续加大手艺和产物研发投入,蕴蓄更多优异人才,推出更多国产高端薄膜沉积装备品种,加速产业化结构。

陛通半导体确立于2008年,是一家集研发、生产、销售和手艺支持为一体的高端国产半导体薄膜沉积装备的高手艺创新企业。公司始终强调连续创新的产物研发能力以及与客户的慎密互助,至今已经拥有73项授权发现专利,共计165项其他原创专利,包罗国际专利。

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现在公司自研的12吋PECVD、SACVD、磁控溅射PVD、射频溅射PVD、反映离子溅射PVD、Thermal ALD产物已经陆续进入海内种种类型、种种规模晶圆厂并成为主力装备。同时,6-8吋磁控溅射PVD的高产能厚铝工艺、背金工艺、热铝填孔槽工艺被大量应用于海内化合物半导体SiC、GaN、IGBT、MOSFET等功率芯片制造。

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